불량한 램프로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막아야 합니다.
고부하 상태에서 웨이퍼를 처리할 때 램프가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 것보다 더 심각한 문제입니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되고, 그 결과 웨이퍼는 즉시 폐기됩니다. 값비싼 웨이퍼들이 순식간에 낭비되는 것입니다.
우리는 램프 내부에 물리적인 장벽과 반사율이 높은 커버를 설치함으로써 이러한 문제를 해결했습니다.
반사판의 역할
우리는 금으로 코팅된 재료나 고순도 알루미늄을 사용하여 적외선 에너지를 웨이퍼 표면으로 정확하게 반사시킵니다.
하지만 진짜 장점은 그게 전부가 아닙니다. 열을 효과적으로 집중시키기 때문에, 낮은 와트수로도 충분히 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 석영관에 가해지는 열 스트레스가 줄어들어, 램프가 매번 작동할 때마다 손상될 가능성도 줄어듭니다.
오염 방지
반사판은 일종의 안전 장치와 같습니다. 램프는 정밀하게 가공된 커버 안에 위치하며, 이 커버는 파손된 석영관으로 인한 파편들이 웨이퍼까지 도달하는 것을 막아줍니다.
또한, 지속적인 팽창과 수축에 견딜 수 있도록 고품질의 석영관을 사용합니다. 한 가지 팁은 전원 공급 장치를 주의 깊게 관리하는 것입니다. 대부분의 램프 고장은 전압 변동 때문에 발생하므로, 전압을 안정적으로 유지하는 것이 중요합니다.
단점
완벽한 것은 없습니다. 보호 장치와 반사판을 추가하면 가열 부품의 크기가 조금 커집니다. 또한, 열량도 늘어나므로 전원을 켰을 때 온도가 오르는 데 시간이 좀 더 걸립니다. 이를 고려하여 설정값을 조정해야 합니다.
우리는 오염이 치명적인 24/7 작동 환경을 위해 이러한 장치를 만들었습니다.
기존 장비에 이 장치를 설치할 경우, 공간 여유를 꼭 확인해야 합니다. 공간이 너무 좁으면 공기 흐름이 방해받아 램프가 과열될 수 있습니다. 이는 우리가 피하고자 하는 바로 그 문제입니다.