스마트 센서 포장 적외선
왜 센서 포장에 강제 공기 순환 방식 대신 적외선을 사용하는가?
스마트 센서 처리를 하는 사람이라면, 가장 큰 문제가 바로 기다리는 시간이라는 것을 알고 있을 것입니다. 특히, 부품이 충분히 뜨거워질 때까지 기다려야 합니다.
오랫동안 우리는 열공기를 사용해 왔습니다....
웨이퍼 공정용 온도 센서
더 이상 가열 요소가 생산성을 해치도록 내버려 두지 마세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면 그 고통을 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 새어 나오기만 해도 전체 제품이 오염되어 버립니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 일반적인 가열 요...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다.
고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리...
수소 센서 제작용 히터
반응성 화학물질을 다룰 때의 온도 조절 및 안전 유지 방법
수소 센서를 제작할 때는 온도 조절이 매우 중요합니다. 하지만 문제는, 이러한 작업이 보통 가연성 세정제들과 함께 이루어진다는 점입니다. 그런 환경에서는 일반적인 적외선 램프가 단순한 도구가 아니라 오히려 위...
웨이퍼용 정밀 적외선 센서
라인에서 웨이퍼는 극히 제한된 열 예산으로 베이크 스테이션에 도달한다. 소프트 베이크는 포토레지스트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 패턴 충실도를 고정한다. 몇십 분의 1도 단위의 온도 드리프트, 눈에 보이지 않는 핫스팟이 생기면 CD가 흔들리기 시작한다. 펠리클...