먼지를 막는 방법: 클래스 100 클린룸에서 IR 히터를 제대로 사용하는 방법
만약 여러분이 클래스 100 클린룸에서 일반적인 IR 히터를 사용해 본 적이 있다면, 그 고통스러운 경험을 잘 알 것입니다. 히터를 작동시키자마자 웨이퍼나 렌즈가 손상되는 경우가 많습니다. 왜일까요? 대부분의 히터들은 사실상 먼지를 발생시키는 원인이 되기 때문입니다. 히터에서는 작은 조각들이 떨어져 나오고, 제품 근처에 있으면 안 될 가스들도 배출됩니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 그 비결은 아주 간단합니다. 바로 고순도 석영과 잘 연마된 알루미늄을 사용하는 것입니다.
석영의 중요성
일반 유리는 열을 견디다가 결국 먼지가 생깁니다. 이는 미세한 문제처럼 보일 수 있지만, 클린룸에서는 치명적입니다.
우리는 램프의 외피로 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 열충격에도 잘 견디며, 먼지도 생기지 않습니다. 뜨거워질 때도 이상한 유기물이 공기 중으로 날아가지 않습니다. 그래서 깨끗하고 일관된 열선을 얻을 수 있습니다.
반사판의 중요성
램프 자체는 열을 사방으로 방출합니다. 천장이나 기계 프레임까지도 말입니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라 문제를 초래할 수도 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 정밀하게 가공된 알루미늄 반사판을 사용하여 열을 필요한 곳으로만 보냅니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 페인트나 분체 코팅은 사용할 수 없습니다. 고온에 노출되면 연기가 나기 시작합니다. 먼지가 없는 환경에서는 이는 재앙입니다. 대신에 우리는 아노다이징 처리된 고급 알루미늄을 사용합니다. 이는 화학적으로 안정적이며, 아무런 먼지도 발생시키지 않습니다.
실제적인 딜레마들
솔직히 말해서, 이러한 설비를 구축하는 데에는 상당한 비용이 듭니다. 고순도 석영과 잘 연마된 알루미늄은 철이나 페인트로 된 부품들보다 훨씬 비쌉니다.
또한 유지보수도 조금 더 필요합니다. 램프를 설치하기 전에 IPA로 부품들을 꼼꼼히 청소해야 합니다. 실제로, 반사판에 단 한 방울의 지문만 있어도 열점이 생겨서 결국 표면이 손상될 수 있습니다.
마지막 팁을 드리자면, 전력 공급을 안정적으로 유지해야 합니다. 전압이 급격히 변동하면 석영이 깨질 수 있습니다. 클래스 100 클린룸에서는 램프가 깨지면 모든 작업이 중단됩니다. 금요일을 그런 식으로 보내는 것은 정말 최악입니다.