더 이상 가열 요소가 생산성을 해치도록 내버려 두지 마세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면 그 고통을 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 새어 나오기만 해도 전체 제품이 오염되어 버립니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 일반적인 가열 요...

불량한 램프로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막아야 합니다. 고부하 상태에서 웨이퍼를 처리할 때 램프가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 것보다 더 심각한 문제입니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되고...

MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다. 고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리...

열을 낭비하지 마세요: 왜 금으로 만든 반사체를 사용하는가? 솔직히 말해서, 전기 요금을 내고도 그 에너지가 그냥 방 안의 벽에 낭비된다는 것은 정말 답답한 일입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 기판에 도달하지 않는 모든 에너지는 마치 공중으로 사라지는 돈과 같습니다. 그...

제조 현장에서는 솔더 마스크를 건조시키는 과정이 단순한 정지 시간이 아니라, 오히려 중요한 공정 단계입니다. 만약 건조 과정에 문제가 생기면 포토레지스트의 형태가 변하고, 리소그래피 공정에도 문제가 생깁니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여 해당 시스템을 설계했습니다....

제조 공정에서, 클린룸에서 나온 웨이퍼는 단순히 “습한” 상태가 아닙니다. 그건 문제가 되는 요소입니다. 남아있는 수분은 나중에 마이크로 브리지나 패턴의 변형과 같은 문제를 일으킬 수 있습니다. 바로 포토레지스트의 형상을 유지하려는 순간에 말입니다. 일반적인 건조 방...

리소그래피 공정에서의 소프트 베이킹은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이 과정을 통해 용매의 성분이 고정되고, CD의 형태가 결정되며, 하루 종일 유지될 선 가장자리의 거칠기도 정해집니다. 만약 히팅 플레이트의 온도가 ±2°C만큼 변동하더라도, 처리 결과는 급격히 악화...

웨이퍼와 히터 간 간격은 현장에서는 단순한 부차적인 내용이 아니라 무시할 수 없는 공정 파라미터다. 이 거리가 변동하면 열 균일도가 무너진다. 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 흐트러지고 치수 제어(CD control)가 불안정해진다. 재작업이 증가한다. 실제로...

Role 현장에서는 베이크 윈도우 미스나 건조 시간 변동을 문서상의 문제로 치부할 수 없습니다. 불량으로 처리합니다. 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 시간은 CD 제어와 접착을 초기부터 정확히 설정합니다. 패키징 공정에서는 잔류 수분이 몰딩 및 리플로우 후...

라인에서 웨이퍼는 극히 제한된 열 예산으로 베이크 스테이션에 도달한다. 소프트 베이크는 포토레지스트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 패턴 충실도를 고정한다. 몇십 분의 1도 단위의 온도 드리프트, 눈에 보이지 않는 핫스팟이 생기면 CD가 흔들리기 시작한다. 펠리클...