열을 낭비하지 마세요: 왜 금으로 만든 반사체를 사용하는가?
솔직히 말해서, 전기 요금을 내고도 그 에너지가 그냥 방 안의 벽에 낭비된다는 것은 정말 답답한 일입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 기판에 도달하지 않는 모든 에너지는 마치 공중으로 사라지는 돈과 같습니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용하기로 했습니다. 듣기에는 복잡해 보일 수 있지만, 그 원리는 꽤 간단합니다. 우리는 소자에서 나오는 모든 열이 정확히 웨이퍼 위에 도달하도록 하고 싶습니다. 왜 금인가? 대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 흡수하는 성질이 있어서 문제가 됩니다. 금은 다릅니다. 금은 적외선을 반사하는 데 가장 효과적인 재료 중 하나입니다. 하우징에 얇은 금 층을 입힘으로써 열의 누수를 막을 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 더 집중된 열이 전달됩니다. 그러니까 전력 공급 장치를 높은 수준으로 설정할 필요가 없습니다. 단점: 열과 압력 문제는, 에너지를 너무 집중시키면 온도가 급격히 상승한다는 것입니다. 좋은 점은 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간이 줄어든다는 것입니다. 하지만 냉각 시스템을 잘 관리해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않아 웨이퍼 주변의 열을 제거할 수 없다면, 문제가 생길 수 있습니다. 하우징이 변형되거나 밀봉이 제대로 되지 않아 결국 고장날 수도 있습니다. 청결을 유지하기 이 반사체들은 간편하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 하지만 일단 설치된 후에는 조심스럽게 다루어야 합니다. 금으로 된 표면은 매우 민감합니다. 지문이나 기름 자국만으로도 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생길 수 있습니다. 이로 인해 웨이퍼의 균일성이 깨지고 전체 제품의 품질이 저하됩니다. 팁: 항상 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 청소해야 한다면 이소프로필 알코올을 사용하세요. 귀찮게 들릴 수 있지만, 이는 매우 중요합니다. 반사체가 조금만 더러워져도 시스템의 열 출력이 15%나 감소하는 경우도 있었습니다. 반사체를 항상 깨끗하게 유지하면 시스템이 훨씬 더 잘 작동합니다.