웨이퍼 경화용 반사기

불량한 램프로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막아야 합니다. 고부하 상태에서 웨이퍼를 처리할 때 램프가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 것보다 더 심각한 문제입니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되고...