진공 챔버가 폭발할까 봐 걱정하지 마세요. 솔직히 말해서, 가연성 세척제가 들어 있는 진공 챔버를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 그건 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 조금만 스파크가 생기거나 전기 연결이 느슨해져도 큰 재앙...

진공 적외선 가열을 활용해 반도체 제조 공정의 친환경성을 높이는 방법 만약 반도체 제조 공장에서 진정한 탄소 중립을 실현하고자 한다면, 열 문제를 반드시 고려해야 합니다. 기존의 저항식 가열 방식은 에너지 낭비가 심각합니다. 가열하는 데 오랜 시간이 걸리며, 에너지도...