MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다.
고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 텅스텐 입자들이 센서 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 버려지게 됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 많은 노력을 기울여 왔습니다.
왜 램프가 파손되는 걸까요?
보통은 열충격이나 과도한 온도 변화 때문입니다. 고부하 작동 시, 필라멘트와 석영관의 끝부분 사이의 온도 차이로 인해 큰 기계적 응력이 발생합니다.
이를 해결하기 위해 우리는 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이것은 극심한 온도 변화에도 잘 견딜 수 있습니다. 또한, 벽의 두께와 가스 압력도 조절하여 정상적인 작동 조건에서는 램프가 파손되지 않도록 합니다.
안전장치의 도입
우리는 이런 문제를 그냥 방치하지 않습니다.
우리의 램프에는 보호용 쉴드와 안전장치가 함께 제공됩니다. 만약 석영관이 파손되더라도, 이 안전장치 덕분에 파편들이 제품에 닿지 않도록 됩니다.
또한, 진동에 강한 커넥터를 사용합니다. 흔들리는 환경에서는 단자 부분에서 아크가 발생하여 폭발의 위험이 있으므로, 연결 부분이 견고하도록 설계되었습니다.
알아두어야 할 타협점
문제는, 고출력의 단파 램프는 MEMS 건조 과정에서 빠른 속도로 작동할 수 있게 해주지만, 엄청난 열을 발생시킨다는 점입니다.
그러므로 이 램프들을 그냥 어떤 랙에 넣어둘 수는 없습니다. 쿨링 시스템도 적절한 크기로 설계되어야 합니다. 쿨링이 제대로 이루어지지 않으면 밀봉 부분이 손상되고, 그로 인해 누출 및 고장의 위험이 커집니다.
우리는 24/7으로 가동되는 공장을 위해 이러한 램프들을 제작합니다. 석영의 한계와 회로의 안정성에 신경을 쓰면서, 고객들이 웨이퍼에 대해 걱정하지 않고 생산을 계속할 수 있도록 합니다.