클린룸 오븐 적외선 히터
왜 우리는 클린룸에서 적외선 가열 방식을 사용하게 되었나요?
반도체 공장에서 작업할 때 “청결함”은 단순한 목표가 아니라 모든 것을 결정하는 핵심 요소입니다. 아주 약간의 이물질만 있어도 전체 제품의 품질이 망가질 수 있습니다. 오랫동안 사용되던 방식은 대류식 오븐이...
웨이퍼 건조로 타이머
Role 현장에서는 베이크 윈도우 미스나 건조 시간 변동을 문서상의 문제로 치부할 수 없습니다. 불량으로 처리합니다.
포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 시간은 CD 제어와 접착을 초기부터 정확히 설정합니다. 패키징 공정에서는 잔류 수분이 몰딩 및 리플로우 후...