MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다.
고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리...
웨이퍼용 솔더 마스크 건조
제조 현장에서는 솔더 마스크를 건조시키는 과정이 단순한 정지 시간이 아니라, 오히려 중요한 공정 단계입니다. 만약 건조 과정에 문제가 생기면 포토레지스트의 형태가 변하고, 리소그래피 공정에도 문제가 생깁니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여 해당 시스템을 설계했습니다....
웨이퍼 건조용 적외선 히터
제조 공정에서, 클린룸에서 나온 웨이퍼는 단순히 “습한” 상태가 아닙니다. 그건 문제가 되는 요소입니다. 남아있는 수분은 나중에 마이크로 브리지나 패턴의 변형과 같은 문제를 일으킬 수 있습니다. 바로 포토레지스트의 형상을 유지하려는 순간에 말입니다.
일반적인 건조 방...
빨래 건조기
스팀 세션이나 바디 트리트먼트 직후 스파에 들어가면 느낄 수 있다—공기 중 습기가 높아져, 모든 것이 촉촉한 상태다. 수건, 가운, 심지어 고객 의복도 빨리 마를 필요가 있지만, 공간은 무겁거나 서늘하지 않고 따뜻하고 안정적이어야 한다. 열이 부족하면 전체 흐름이 무...
웨이퍼 건조로 타이머
Role 현장에서는 베이크 윈도우 미스나 건조 시간 변동을 문서상의 문제로 치부할 수 없습니다. 불량으로 처리합니다.
포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 시간은 CD 제어와 접착을 초기부터 정확히 설정합니다. 패키징 공정에서는 잔류 수분이 몰딩 및 리플로우 후...