화장실의 히터가 위험한 존재가 되지 않도록 주의하세요. 화장실에 적외선 램프를 설치하는 것은 마치 물과의 게임을 하는 것과 같습니다. 화장실 안에는 항상 수증기가 있고, 물방울이 튀기도 하며 습도도 매우 높습니다. 그냥 일반적인 히터를 그곳에 설치해두고 모든 것이 잘...

웨이퍼와 히터 간 간격은 현장에서는 단순한 부차적인 내용이 아니라 무시할 수 없는 공정 파라미터다. 이 거리가 변동하면 열 균일도가 무너진다. 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 흐트러지고 치수 제어(CD control)가 불안정해진다. 재작업이 증가한다. 실제로...