MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다. 고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리...