清潔を維持する：クラス100の環境での加熱処理
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、重要なのは温度そのものではありません。重要なのは、ヒーターが空気中に放出する物質です。
一般的な赤外線ランプには、最初の数時間間だけ有害な有機化合物や微小な粒子が放出されます。UHP（超高純度）の作業を行う場合、これは大きな問題となります。私たちは、ランプが実際に使用される前に、材料自体の段階でこの問題を解決します。
鍵はガラスにあります。
通常使われているホウケイ酸ガラスの代わりに、合成融成シリカを使用しています。これは高純度の石英で、温度変動が激しくても壊れることはありません。ひび割れたり、剥がれたり、劣化したりすることもありません。
しかし、そこで終わりではありません。すべての表面を複数段階の化学洗浄処理を施し、有機物の残留物を完全に取り除きます。これにより、「燃焼」の段階を省略できます。ウェーハに粒子が付着することもなく、光学部品も損傷しません。すぐに清潔な熱が得られます。
製造の詳細
狭い空間に大量の熱を送り込むために、精密に設計されたフィラメントを使用しています。また、コネクタにも細心の注意を払っています。通常はR7やSK15を使用します。
なぜかというと、接続が緩むと大変なことになります。局所的な放電や過度な発熱が起こり、石英の封止層を破壊してしまう可能性があります。そのため、厳格な公差を守っておく必要があります。
覚えておくべき点…
これらの高出力ランプは、莫大な量の放射エネルギーを放出します。これは工程にとっては良いことですが、換気システムにとっては負担が大きくなります。
狭い空間にこれらのランプを設置する場合は、冷却ファンが十分に機能するか確認してください。空気が循環しなければ、その熱が再びHVACシステムに戻り、温度制御が崩れてしまいます。
私たちは、半導体や航空機産業向けに、簡単に交換できるように設計しました。接続を行い、PIDコントローラーを調整すれば、汚染の心配なく作業を開始できます。