半導体アニーリング用赤外線ランプ

製造現場では、ランプが故障してもスケジューラーは一時停止しません。ソフトベイク、ハードベイク、露光後のベイクといった工程は、一定の温度条件の下で行われます。もし加熱源に問題が生じたり、機能しなくなったりすると、ウェーハの品質に悪影響が出ます。フォトレジストの特性が変わったり、重要な寸法がずれたりし...