なぜクリーンルームで赤外線加熱方式を採用したのか 半導体工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てにおいて最も重要な要素です。わずかな汚れでも、大量の製品を台無しにしてしまいます。長年にわたり、対流式のオーブンが使われてきました。しかし正直なところ、部屋中に熱風を送り込むのは危険な方法で...

Fabフロアでは、ベイク時間の逸失や乾燥時間のズレを「書類上の問題」とは呼ばず、スクラップと呼ぶ。 フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク時間は、CD制御と接着性を工程の初期段階で確定させる。パッケージング工程では、残留水分が後工程のモールドやリフロー後に剥離として現れる。 オーブンのタイ...