もう、熱風を待っている必要はありません。なぜなら、赤外線放射体は実際に効果的だからです。古い半導体製造工場を見てみると、依然として熱風による加熱方式が使われている場所が多いです。これは古いやり方です。しかし正直言って、強制送風では効率が悪いのです。ウェハーの表面を温めるために部屋全体を加熱すること...

リソグラフィーの工程では、ソフトベイク中に温度がどれだけ急速に変化してしまうかが問題です。わずか0.5度の偏差でも、重要な寸法制御を乱し、多くのワークを廃棄する原因となります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、このような厳しい環境下で使用できるように設計されており、サブミリメートル単位の精度...