装置を安全に保つために：半導体ヒーターの絶縁性能についての真実 半導体用の加熱素子を製造する際、熱に対処するのは簡単な部分です。本当に問題となるのは、電気の漏れです。 高ワット数のシステムでは、わずかな漏れでも大きな問題になります。それによって制御ボードが破壊されたり、生産ライン全体が停止してしま...

ファブフロアにおいて、ウェハとヒーター間のギャップは単なる脚注ではなく、無視できないプロセスパラメータです。その距離がずれると、熱の均一性が崩れます。ソフトベイクおよびハードベイクのプロファイルが乱れ、CD制御に影響を及ぼし、リワークが増加します。 技術的に実際に重要な点 ウェハレベルで±0.1℃...