ファブヒーター用のセラミックランプホルダー

ファブフロアでは、事態がどれほど速く悪化するかを誰もが知っています。フォトレジストのソフトベーク工程において0.5°Cの温度ドリフトが発生するだけで、ライン幅が変動します。不安定な乾燥ランプはマイクロブリッジングの原因になります。熱の再現性は「あると便利」なものではなく、プロセスそのものです。 当...