半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
トロリーヒーターを最大限に活用する方法
もし半導体クリーンルームで働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーを運搬するためのトロリーを加熱する必要がありますが、そのエネルギーを正確に必要な場所に届けるのは思ったほど簡単ではありません。
多くの場合、熱は適切に伝わらず、ランプから漏...
クリーンルーム用ベンチ型赤外線ランプ
クリーンルーム内での赤外線ランプの安全な使用方法(そして、ブレーカーが壊れないようにするために) クリーンルームで作業しているとき、最も避けたいのは予期せぬトラブルです。汚染も、電気的な故障も、そして設備全体を停止させてしまうようなブレーカーの誤作動も避けなければなりません。私たちが製造する赤外線...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
悪夢を止める:ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法
大量生産の現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。突然、ライトが壊れてしまうのです。
問題は単に停止時間だけではありません。ガラスの破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。石英管にひびが入るだけで、高価なウェーハが...