RTP 시스템용 할로겐 램프

생산 현장에서는 열 변동이 단순한 이론적인 문제가 아닙니다. 실제로는 회로선의 굵기 변화나 제품의 품질 저하로 나타납니다. RTP에서는 램프가 바로 조절할 수 있는 요소입니다. 만약 열 분포에 변동이 생기면 포토레지스트의 성능도 떨어지게 되며, 결국 불필요하게 에너지...