더 이상 가열 요소가 생산성을 해치도록 내버려 두지 마세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면 그 고통을 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 새어 나오기만 해도 전체 제품이 오염되어 버립니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이런 상황에 적합하지 않습니다. 바로 안정적으로 작동해야 할 순간에 오히려 파손되거나 휘발성 유기화합물(VOCs)을 방출합니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 반도체 제조에 특화된 고순도 합성 석영 IR 램프를 사용하는 것입니다.
“일반적인” 석영의 문제점
대부분의 IR 램프는 일반 석영을 사용합니다. 하지만 이 석영에는 접착제나 불순물이 포함되어 있어서 처음 몇 시간 동안은 그러한 물질들이 연소됩니다. 실험실에서는 이러한 ‘연소 현상’이 큰 문제가 됩니다.
우리는 그러한 불순물들을 모두 제거했습니다. 거의 불순물이 없는 융합된 규소를 사용함으로써 금속 오염의 위험을 없앴습니다. 이제는 초기 연소 현상에 대해 걱정할 필요가 없으며, 온도가 변동할 때 미세한 입자들이 방출될까 봐 걱정할 필요도 없습니다. 완전히 깨끗한 환경이죠.
정확히 필요한 곳에 열을 공급합니다
이 램프는 단파장 IR 광선을 방출합니다. 이게 왜 중요한가요? 에너지가 직접 웨이퍼 표면으로 전달되기 때문입니다. 주변 공기나 장비를 가열하는 데 시간을 낭비할 필요가 없습니다.
매우 빠릅니다. 정말 빠르죠.
온도 상승이 매우 빠르고 온도 조절도 정확하기 때문에, 성능을 저하시키지 않으면서도 장비의 크기를 줄일 수 있습니다.
단점도 있습니다(항상 그렇듯이)
고순도 석영은 극심한 온도를 견딜 수 있지만, 그러한 높은 열 밀도는 진공 씰과 전기 연결부에 상당한 부담을 줍니다. 더 많은 성능을 얻기 위해 전력을 높이면, 쿨링 시스템이 그 열을 감당할 수 있어야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 손상되거나 시스템이 자동으로 멈추게 됩니다.
우리는 이 램프를 기존 장비에 간단히 교체할 수 있도록 설계했습니다. 필라멘트의 성능과 유리의 순도에 심혈을 기울였기 때문에, 이제는 공기 중의 미세 입자들에 대해 걱정할 필요가 없으며, 오직 생산성에만 집중할 수 있습니다.