클래스 100 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 공장에서 작업할 때 “온도 조절”은 중요한 요소 중 하나에 불과합니다. 진짜 문제는 오염입니다. 클래스 100 환경에서는 아주 작은 폴리머 조각이나 먼지 한 알만 있어도 웨이퍼의 품질이 저하되어 작업이 엉망이 될 수 있습니다.
그래서 우리는 그냥 어떤 히터라도 사용하는 것이 아닙니다. 우리는 고순도 석영 IR 램프와 테플론으로 절연된 와이어를 함께 사용합니다. 이러한 방식이 왜 중요한지 알아보겠습니다.
고순도 석영의 장점
대부분의 석영 램프에는 금속성 불순물이 포함되어 있습니다. 고온에서 이러한 불순물들이 빠져나올 수 있으며, 이는 반도체 제조 과정에 치명적입니다.
우리는 이를 막기 위해 합성된 고순도 석영을 사용합니다. 이 램프들은 단파 적외선을 사용하기 때문에 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 주변 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하지 않습니다. 이는 바닥에 있는 먼지가 날아오르는 현상을 줄여줍니다.
와이어가 문제가 되는 이유
와이어가 가장 먼저 손상되는 부분입니다. 일반적인 PVC나 실리콘 소재의 와이어는 열이 가해지면 연기를 내뿜습니다. 이로 인해 휘발성 유기 화합물이 발생하여 실리콘 위에 번지게 됩니다. 이는 큰 문제입니다.
우리는 대신 테플론(PTFE)을 사용합니다. 테플론은 고온에서도 변형되지 않으며, 가스가 방출되지도 않습니다. 화학적으로 안정적이기 때문에 진공 상태나 고온 환경에서도 문제가 없습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
이 램프들은 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 효율적이긴 하지만, 마운팅 브래킷을 잘 관리해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 주변 열을 감당하지 못한다면, 램프의 외곽이 변형될 수 있습니다.
우리는 이미 사용 중인 히터를 대체할 수 있도록 이 램프들을 설계했습니다. 입자가 배출되지 않으며, 목표 온도에 빠르게 도달합니다.
전원 공급 장치가 램프의 와트수에 맞는지 반드시 확인하세요. 그렇지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다.