工場乾燥設備のエネルギー診断
半導体製造工場では、カーボンニュートラルの目標を達成するために大変な努力が求められています。しかし、実際にはウェーハを乾燥させる過程で、かなりのエネルギーが無駄に消費されているのです。 私はよくこんな光景を見かけます。依然として、大きな対流式オーブンや古めかしい加熱要素が使われているのです。これは...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
破損したランプがバイオセンサーの生産効率を台無しにするのを防ごう
こういう最悪の状況を想像してみてください。大量生産を行っている最中に、たった一つのIRランプが壊れてしまいます。これだけではなく、ガラスの破片や破片がチャンバー内に飛び散り、そのロット全体のウェーハが台無しになってしまいます。
これ...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
なぜバイオセンサーに赤外線硬化を用いるのか？ バイオセンサーを作るときは、微妙なバランスを取らなければなりません。ポリマーや接着剤を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、熱が強すぎると、センサーの生物学的な部分がダメになってしまいます。つまり、絶妙なバランスが求められるのです。 そのため、私たち...
半導体用の金コーティング赤外線ランプ
金メッキされた赤外線ランプが実際に正常に動作しているかを確認する方法
半導体ウェーハの処理を行う際には、何が起こるか予測する余地はありません。そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプです。金の層は鏡のように機能し、発生した熱をサブストレートに集中させ、後部の部分が過度に加熱されるのを防ぎます。...
スマートセンサーパッケージング・赤外線
なぜセンサーパッケージングにおいて強制送風ではなく赤外線を利用するのか？ スマートセンサーの処理に携わっている人なら、最も厄介なのは待つことだと知っているでしょう。具体的には、部品が十分に熱くなるまで待つ必要があります。 長年にわたり、私たちは熱風を利用してきました。しかし、強制送風は効率が悪いで...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーの製造において、硬化や乾燥のために正確な温度が必要であることはご存知の通りです。しかし問題は、可燃性の洗浄剤が周囲にある場合、通常のIRランプは単なる道具ではなく、危険源となってしまうことです。ちょっとした火花や亀裂があれば、大惨事につながります。だからこそ、私たちはIR加熱システム...
炭素繊維赤外線ランプ工場
なぜカーボンファイバーIRランプが半導体工場にとって有効なのか
正直言って、半導体工場における温度制御は非常に難しい課題です。古い方式の抵抗加熱システムは、エネルギーを無駄に消費してしまいます。ウェハ自体を加熱する代わりに、ウェハの周囲の空気を加熱しているだけなのです。
そこで私たちはカーボンファ...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーやチップの硬化処理における赤外線技術の真価
バイオセンサーを作るとき、熱は非常に扱いにくい要素です。接着剤やフォトレジストを硬化させるためには適度な熱が必要ですが、過度に熱を加えると基板が破損してしまいます。つまり、微妙なバランスが求められるのです。
そのため、私たちは赤外線ランプを...
真空チャンバー用赤外線ヒーター
もう、真空チャンバーが爆発することを心配する必要はありません。
正直言って、可燃性の清掃剤が入った真空チャンバーを使うのは危険です。もし通常の赤外線ランプを使っているなら、それはまるで火遊びのようなものです。わずかな火花や接続不良だけで、大惨事につながります。
そのため、私たちは特別な設計の赤外線...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
清潔を維持する：クラス100の環境での加熱処理 クラス100のクリーンルームで作業を行う際、重要なのは温度そのものではありません。重要なのは、ヒーターが空気中に放出する物質です。
一般的な赤外線ランプには、最初の数時間間だけ有害な有機化合物や微小な粒子が放出されます。UHP（超高純度）の作業を行う...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
トロリーヒーターを最大限に活用する方法
もし半導体クリーンルームで働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーを運搬するためのトロリーを加熱する必要がありますが、そのエネルギーを正確に必要な場所に届けるのは思ったほど簡単ではありません。
多くの場合、熱は適切に伝わらず、ランプから漏...
クリーンルーム設備のアップグレードが工場で行われている
ファブでの熱の無駄遣いをやめよう 正直に言って、ファブを運用しているとき、ウェーハに届かない1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。さらに悪いことに、それによってチャッシュがヒーターのように機能し、部屋の温度が上昇しないように空調装置が過剰に動作することになります。
原因は、通常のクォーツ...
すすぎ用の防水赤外線ランプ
防水型の赤外線ランプを使って、確実なウェットライン処理を実現しよう
もしファブで働いたことがあるなら、ウェットライン処理がいかに面倒な作業かご存知でしょう。汚染を防ぎつつ、可能な限り迅速に部品を乾燥させる必要があります。
そこで役立つのが防水型の赤外線ランプです。対流オーブンが空気をゆっくり温める...
ウェーハ加工ツール用温度センサー
ヒーター要素が製品の品質を損なうのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業している場合、その恐怖をご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。本当に厄介です。一般的なヒーター要素は、安定して動作する必要がある時に、むしろ破損したり、揮発性...
クリーンルーム用ベンチ型赤外線ランプ
クリーンルーム内での赤外線ランプの安全な使用方法（そして、ブレーカーが壊れないようにするために） クリーンルームで作業しているとき、最も避けたいのは予期せぬトラブルです。汚染も、電気的な故障も、そして設備全体を停止させてしまうようなブレーカーの誤作動も避けなければなりません。私たちが製造する赤外線...