ファブでの熱の無駄遣いをやめよう
正直に言って、ファブを運用しているとき、ウェーハに届かない1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。さらに悪いことに、それによってチャッシュがヒーターのように機能し、部屋の温度が上昇しないように空調装置が過剰に動作することになります。
原因は、通常のクォーツランプです。これらはあらゆる方向にエネルギーを放散します。精密な環境では、その熱の半分ほどが間違った方向へ行ってしまい、製品ではなくランプ本体に戻ってしまいます。
金の力
この問題を解決するために、ランプの裏側に特殊な金コーティングを施します。
なぜ金かというと、赤外線を効果的に反射できるからです。光子が装置内に散逸する代わりに、金層がそれらを再びウェーハの方に向けて送り返します。
そうすることで、集中した熱束が得られます。これは単純な手法ですが、電源からの電力を増やすことなく、より多くの熱をウェーハ表面に与えることができます。
注意すべき点
確かに、より高いエネルギー密度は魅力的ですが、熱勾配には注意が必要です。
コーティングが強すぎたり、ランプが近すぎると、ホットスポットが発生します。ご存知の通り、ホットスポットは薄いウェーハを変形させる原因になります。また、PIDコントローラーもしっかりチェックしてください。熱が速く伝わるため、コントローラーもそれに対応できるようにしておく必要があります。
私たちは、これらをそのまま交換可能な形で設計しました。ただし、事前に物理的なサイズを確認してください。高温になると、コーティングされたランプの膨張具合は透明な管とは異なります。
どのような場面で役立つか
これは、「高速かつ均一な加熱」が単なる目標ではなく、必須条件となる場面で役立ちます。
特に、硬化や脱水処理の場面で大きな効果があります。重要な部分に効率的に熱を与えることができるので、処理時間が短縮されます。
最後に、焦点部分の集中した熱に耐えられる冷却ファンを用意しておくことをお勧めします。狭い範囲に多くのエネルギーが集中するため、十分な空間を確保してあげてください。