清潔を維持する：半導体加熱の現実 クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳格さが分かるでしょう。重要なのは空気フィルターだけではありません。本当の問題は、目に見えない微小な粒子やガスです。これらが装置から漏れ出し、すべてを台無しにしてしまうのです。加熱要素に関して言えば、「ほ...

スマートファブで適切な温度管理を実現するには 現代の高度な技術を持つファブにサーマルシステムを導入しようとすると、単に「熱を加えるだけでは不十分だ」とすぐに気づきます。そのエネルギーを正確に目的の場所に送り届ける必要があり、また、データシステムに影響を与えずに動作させる必要もあります。 そのため、...

金メッキされた赤外線ランプが実際に正常に動作しているかを確認する方法 半導体ウェーハの処理を行う際には、何が起こるか予測する余地はありません。そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプです。金の層は鏡のように機能し、発生した熱をサブストレートに集中させ、後部の部分が過度に加熱されるのを防ぎます。...