持続可能なファブ製造ソリューション
なぜ、グリーン製造にはIR硬化が最適なのか
正直に言えば、あの古い対流式オーブンはもはや時代遅れです。無鉛はんだの使用や環境に優しい接着剤の利用といった動きの中で、単に熱風を送り込むだけの旧来の方法ではもはや十分ではありません。正確な温度管理が求められます。そこで役立つのが赤外線（IR）硬化技術で...
水素センサー製造用ヒーター
揮発性化学物質を扱う際には、環境を冷却し、安全を保つことが不可欠です。水素センサーを製造する際には、温度制御が非常に重要です。しかし問題は、通常、この作業が可燃性の洗浄剤のそばで行われるという点です。そうした環境では、一般的な赤外線ライトは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。石英管にわず...
IRランプ用アルミニウム反射板
粉塵の発生を防ぐ：クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか？それは、ほとんどのヒーターが実際には微...
真空対応赤外線ヒーター
真空赤外線加熱を用いて半導体製造プロセスをより環境に優しくする
もし本当に半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、熱管理が重要になります。従来の抵抗加熱方式は、エネルギーの無駄遣いが激しく、ウェハを加熱するのに時間がかかります。また、エネルギーがあちこちに漏れ出してしまいます。...
認定済み赤外線硬化ランプ製造工場
なぜ、認定された赤外線硬化装置が最適なのか 私たちが開発した認定済みの赤外線硬化装置は、地球上で最も過酷な環境である半導体工場向けに作られています。鉛を含まず、地球に優しく、かつエネルギー効率の高い処理が求められます。しかし、同時に生産ラインの速度を低下させてはいけません。赤外線乾燥方式は、この点...
工業用ファーブヒーターの交換
工場現場からの直接の声
実は、この産業用赤外線ヒーターは、高価な輸入製品の代わりとして作られました。品質や安定性を犠牲にすることなく、しっかりと機能する製品が欲しいと考えているエンジニアのためのものです。
つまり、高級ブランドと同じようなクリーンなスペクトル出力と優れた熱性能を実現しつつ、財務部門...
エヴァテック・エバポレーター加熱ランプ
リソグラフィーの工程では、ソフトベイク中に温度がどれだけ急速に変化してしまうかが問題です。わずか0.5度の偏差でも、重要な寸法制御を乱し、多くのワークを廃棄する原因となります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、このような厳しい環境下で使用できるように設計されており、サブミリメートル単位の精度...
半導体ヒーター用熱電対
製造現場では、熱ドリフトの仕組みを理解するために特別な説明は不要です。本来110℃で行われるべきソフトベイキングでも、実際には112℃になってしまうことがあります。その結果、わずか数ナノメートル程度の変化が生じます。これは単なる理論上の話ではなく、実際に起こり得ることです。
技術的に重要な点 私た...
ウェハのソルダーマスク乾燥
ファブ内では、はんだマスクの乾燥工程は一時停止ではなく、むしろ重要な工程です。もしこの工程で温度が変動すると、フォトレジストの特性が変わり、リソグラフィーの精度が低下してしまいます。私たちは、そのような状況に対応するためにこのシステムを開発しました。
内部で何が重要か ウェハ全体の温度を±0.1℃...
IC用コンパクト型赤外線ドライヤー
リソグラフィーの工程においては、わずか半度の温度変動だけでも、ウェハの寸法精度に影響を与え、結果としてワッファー全体が廃棄されることになります。必要なのは、感覚的に「十分に熱くなっている」と思える程度の温度ではなく、毎回一定の条件で加熱できる温度です。
私たちが開発したもの、そしてその意義 このコ...
ウェーハ乾燥用赤外線ヒーター
製造現場では、クリーンルームから出てきたウェハは、決して「湿っている」というだけの状態ではありません。それは重大な問題です。残留した水分は、後にマイクロブリッジやパターンの崩壊といった問題を引き起こします。ちょうどフォトレジストの形状を維持しようとする瞬間に問題が発生するのです。
従来の乾燥方法で...
半導体アニーリング用赤外線ランプ
製造現場では、ランプが故障してもスケジューラーは一時停止しません。ソフトベイク、ハードベイク、露光後のベイクといった工程は、一定の温度条件の下で行われます。もし加熱源に問題が生じたり、機能しなくなったりすると、ウェーハの品質に悪影響が出ます。フォトレジストの特性が変わったり、重要な寸法がずれたりし...
RTPシステム用ハロゲンランプ
製造現場では、熱による影響は理論上のものではなく、実際には線幅の変動や歩留まりの低下として現れます。RTPでは、ランプが実際に操作するパラメータです。もし温度分布が変わってしまうと、フォトレジストの性質も崩れてしまい、結果として無駄に熱エネルギーが消費されてしまいます。
技術的に重要な点 私たちは...
半導体ヒーターのサプライヤー
ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、線幅がナノメートル単位で変化し、良品が廃棄されてしまうこともあります。温度の安定性は単なる望ましい条件ではなく、プロセス自体にとって不可欠な要素です。私たちはこの状況に合わせてヒーターを設計し、150mmおよび200mm...
ファブ用に赤外線ランプをまとめて購入する
ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に生じる温度変動は、単なる仮定上の問題ではありません。これにより、線幅の揺らぎや接着力の低下、歩留まりの悪化といった問題が発生します。もしオーブンの温度制御が不安定になれば、被害を受けるのはウェーハです。私たちは、サイクルごとにその温度を安定させるために...