バイオセンサーに適切な温度を与えるためには、バランスを取る必要があります。温度が高すぎると化学反応が壊れてしまい、逆に低すぎると何も基質に付着しなくなります。長い間、人々は大きくて使いにくい対流式オーブンを使ってきました。しかし、現代のデジタル化された工場では、そうしたオーブンでは不十分です。 こ...

なぜクォーツ製のシールドがファブラボ用のランプにとって重要なのか スマートファブを運営している方なら、正確な温度を維持するのがどれほど困難かご存知でしょう。そのために短波長の赤外線を利用していますが、ランプ自体が壊れやすいという問題があります。ここで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。これは...

なぜIRエミッターにはより良いエンドキャップが必要なのか 半導体製造工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、正確な加熱ができるかどうかが、装置が正常に動作するかどうかを決定します。私たちはウェーハの温度を一定に保つためにIRエミッターを利用していますが、問題点があります。それは、加熱素子が...

灯の破損によって生産効率を低下させないために 炭素ナノチューブの製造を行っている人なら、その問題をよく知っているでしょう。極度の温度制御が必要です。しかし、大量生産を行う際には、私たち全員が恐れる最悪の事態が起こり得ます。それは、赤外線ランプが破壊されることです。 単に停止時間が増えるだけではあり...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには 半導体製造現場で作業を行う際、「温度制御」だけでは不十分です。真の問題は、汚染です。クラス100の環境では、わずかなポリマーの破片やほこり一粒だけでも、ウェーハの品質を損ない、作業が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは適当なヒ...

破損したランプがウェーハを破壊するのを防ごう 高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが故障すると大変な問題になります。単に機械がしばらく停止するだけではありません。もしクォーツ管が破裂したら、ガラスの破片やハロゲン物質が直接ウェーハに降りかかります。そうなると、そのウェーハはすぐに廃棄...

なぜクリーンルームで赤外線加熱方式を採用したのか 半導体工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てにおいて最も重要な要素です。わずかな汚れでも、大量の製品を台無しにしてしまいます。長年にわたり、対流式のオーブンが使われてきました。しかし正直なところ、部屋中に熱風を送り込むのは危険な方法で...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子の発生や化学物質の放出という問題がどれほど厄介かご存知でしょう。わずかなミスだけで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。 多くの人々は、一般的な赤外線ランプが実はこの...

加熱装置によって火災が起きないようにしましょう。 もし、爆発の可能性のある場所で化学薬品を加熱する場合、通常の赤外線ランプはまるで時限爆弾のようなものです。だからこそ、私たちは二重管構造で金メッキされたランプを使用します。これによって、加熱要素が偶然にでも火花を発生させることがないようにできます。...

MEMS乾燥工程におけるランプの破損について話しましょう。 もし、高負荷のMEMS製造ラインを運用しているなら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンの残渣がセンサーワーフ上に降り注ぎます。...

ウェーハ乾燥時の石英管の破裂という悪夢を防ぐために 高負荷の半導体工場では、赤外線ランプが破裂するというのは、単なる「技術的なトラブル」やわずかな停止時間に過ぎません。それは完全な災害です。 想像してみてください：石英管が割れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度破裂するだ...

装置を安全に保つために：半導体ヒーターの絶縁性能についての真実 半導体用の加熱素子を製造する際、熱に対処するのは簡単な部分です。本当に問題となるのは、電気の漏れです。 高ワット数のシステムでは、わずかな漏れでも大きな問題になります。それによって制御ボードが破壊されたり、生産ライン全体が停止してしま...

熱を無駄にしないために：なぜ金製の反射器を使うのか 正直に言って、電力代を払ってもそのエネルギーがチャンバーの壁に消えてしまうのは、本当に腹立たしいことです。ウェーハを加工する際、基板に届かない1ワット毎が、実質的に無駄になってしまいます。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた反射器を使用し...

なぜ、電力の無駄遣いを防ぐために金メッキされた反射器を使用するのか？ 半導体ウエハーの処理において、電力が漏れ出すことは、基本的に設計上の欠陥です。確かに、研磨されたステンレス鋼も赤外線をうまく反射しますが、ウエハー上で精密かつ高密度な加熱を行う場合には「十分」とは言えません。 だからこそ、私たち...

悪夢を止める：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。突然、ライトが壊れてしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。ガラスの破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。石英管にひびが入るだけで、高価なウェーハが...