金メッキされた赤外線ランプが実際に正常に動作しているかを確認する方法
半導体ウェーハの処理を行う際には、何が起こるか予測する余地はありません。そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプです。金の層は鏡のように機能し、発生した熱をサブストレートに集中させ、後部の部分が過度に加熱されるのを防ぎます。
しかし、高精度な装置では、わずかな電気的漏れだけで、一連のウェーハが台無しになったり、数百万ドルもする装置が故障したりしてしまいます。これは誰も望まない最悪の事態です。
なぜすべてのランプをテストするのか
ここでは「サンプル検査」は行いません。すべてのランプは、工場を出る前に、十分な電圧耐性試験や絶縁試験を受けます。高電圧をかけて、フィラメント、端子、そして金メッキ層間の絶縁性能がしっかりしているかを確認します。もし石英に微細なき裂があったり、密封が不十分だったりすると、そのランプは不合格となります。
このような装置では、少しのミスでも大惨事につながります。わずかな漏れ電流でもEMIを引き起こしたり、直接短絡が起きたりします。ですから、配線時にランプが故障する心配がないように、徹底的にテストを行います。
金メッキの利点と欠点
金メッキは、必要な場所に熱を集中させることができるため、目標とする温度に到達するのが早くなります。しかし、一方で扱いには注意が必要です。
もし清掃作業員が間違った溶剤を使用したり、設置時にランプが強く振られたりすると、コーティングが剥がれてしまいます。そうなると、熱の分布が乱れ、ウェーハの一部が低温になってしまいます。これは非常にデリケートなバランスです。
設置を正しく行うために
これらのランプは、小さな空間に多くの熱を閉じ込めます。まず、電源がランプの定格ワット数や電圧に合っているかを確認しましょう。また、狭いスペースにランプを設置する場合は、冷却システムもしっかりチェックする必要があります。コネクタの周囲に熱が溜まると、本来よりも早く故障してしまいます。