利用镀金石英灯在100级洁净室中实现无污染加热 保持环境清洁:半导体加热的实际情况 如果你曾进入过100级洁净室,就会明白其中的规定有多严格。问题不仅仅在于空气过滤器,真正令人头疼的是那些看不见的微小颗粒和气体——它们会从设备中泄漏出来,从而破坏一切。对于加热元件而言,所谓的“几乎纯净”根本不够用。 因此,我们选择使用高纯度的合成石英以及金涂层... 阅读更多
降低半导体加工中的时间成本:红外发射器与热风循环方式之比较 别再等待了:为什么红外发射器真的有效 如果你走进那些比较老的半导体工厂,仍然会看到许多依赖热空气循环来加热的装置。那是一种过时的方法。但说实话,使用强制空气加热效率极低——你实际上是在为让晶圆表面变暖而加热整个房间,这简直就是浪费时间。 改用红外发射器则完全不同。它不需要加热空气,而是直接利用辐射... 阅读更多
用于MEMS晶圆干燥及确保设备安全的定向红外加热技术 无需担心,就能让MEMS晶圆快速干燥 对MEMS传感器晶圆进行干燥处理其实是一件需要精确控制的技术活。虽然希望水分能尽快蒸发,但如果处理方式不当,就会破坏那些极其微小的结构。 大多数人都会用对流加热的方式来干燥晶圆,但这种方式效率很低。实际上,这种做法只是让空气和设备内壁变热,而晶圆本身却未必能迅... 阅读更多
利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射通量 停止热量浪费:为什么镀金反射器如此有效 如果你在加热硅片时,能量却四处散失,那显然存在设计上的问题。大多数人会使用普通的铝制反射器,但问题在于:铝的吸热能力太强,结果就是灯具的壳体会被加热,而不是硅片本身。这无疑是一种浪费。 所以,我们才选择使用黄金。 黄金的优势 黄金之所以能成为更好的反射材料,... 阅读更多
通过定向红外加热降低半导体设备中的机箱过热现象 停止让设备“承受”高温:更有效的控温方法 大多数普通加热元件都会将热量向各个方向散发——360度全方位发热。在空间有限的半导体生产环境中,这显然是个问题。那些多余的熱量会照射到设备的内部零件上,使得昂贵的设备变成一个巨大的“烤箱”。 这不仅浪费能源,还会导致设备部件变形。说实话,没人希望在对设备进... 阅读更多
利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射能量传递 别再浪费热量了:为什么镀金反射器如此重要 说实话,如果在晶圆加工过程中浪费能源,那显然是一种糟糕的设计。当使用高功率红外灯时,大量热量会向错误的方向散失,而非作用于晶圆表面。 这就好比试图用加热器来加热房间,但加热器却指向了墙壁。这时,镀金反射器就派上用场了。 为何选择黄金? 你可能会问,为什么不... 阅读更多
利用红外加热系统降低半导体制造厂中的碳足迹 停止在空气加热上浪费能源:更有效的晶圆干燥方式 半导体制造厂面临着实现碳中和的压力。但就晶圆干燥这一环节而言,其能源效率往往很低下。许多工厂仍在使用传统的对流式烤箱。这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热——其实你只需要加热晶圆本身即可,却还要浪费大量能量来加热炉子壁面。 红外技术的原理 我们... 阅读更多
利用高纯度石英红外灯实现生物传感器制造中的零污染加热 别让灰尘破坏你的生物传感器 在100级洁净室中工作时,你实际上是在与那些看不见的污染物作斗争。哪怕只是一粒微小的灰尘,或者某种化学气体——工程师们称之为“挥发物”——都可能毁掉你所有的产品。 问题在于,大多数普通的加热元件在这种环境中根本无法使用。它们容易碎裂、剥落,而且一旦达到最高温度,就会释放... 阅读更多
通过专为生物传感器制造设计的安全红外灯来防止晶圆受污染 保持晶圆清洁,同时保护生产流程的顺利进行 在生物传感器制造领域,一旦照明灯出现故障,那就麻烦了。这不仅会中断生产流程,还会导致整批产品报废。当石英管在高压环境下失效时,它就会让工作区充满玻璃碎片和化学污染物,简直是一片混乱。 正因如此,我们特意设计了这种红外线灯。我们的目标就是避免这种二次污染的发... 阅读更多
在易挥发化学物质环境中用于生物传感器制造的工程安全红外加热技术 无需再为化学处理区域中的红外灯而担忧了。 如果您从事生物传感器的制造工作,那么您一定知道:在化学清洗过程中,需要使用精确的红外加热技术。但问题在于,当使用易燃或易爆溶剂时,普通的红外灯简直就像一颗定时炸弹。哪怕有微小的火花或高温表面接触到溶剂蒸气,就有可能引发火灾。 这无疑是没人愿意看到的灾难。因... 阅读更多
为何红外固化技术能够满足生物传感器制造中的无铅及绿色标准要求 在生物传感器和芯片的制造过程中,正确使用红外固化技术至关重要。在制作生物传感器时,你会面临一个难题:需要让粘合剂和聚合物固化,但不能简单地用高温来处理它们。必须精确控制温度,确保没有杂质或污染物接触到基底材料。 这就是为什么我们使用短波红外灯的原因。可以将其想象成阳光照射在皮肤上——无需让周围空气... 阅读更多
通过镀金红外反射器优化生物传感器制造中的热能密度 如何让更多的热量传递到生物传感器芯片上(同时避免浪费能量) 在制造生物传感器时,会遇到一个棘手的物理问题:如何将热量有效地传递到芯片上,而不让电能白白流失呢? 大多数红外线灯的效率都很低。它们会将能量向360度方向散射出去。在典型的固化或薄膜沉积过程中,有一半的热量会照射在灯罩上,而不是芯片上。这... 阅读更多
用于100级洁净室手套箱的零污染加热技术 别让加热器破坏你的洁净室环境 如果你正在使用100级洁净室,那么你肯定知道颗粒物对洁净度的危害有多大。哪怕只有一小片金属碎片或来自加热元件的化学物质泄漏出来,整个生产批次都会被毁掉。 因此,使用普通金属外壳的加热器其实是一种冒险行为——因为这类加热器很容易出现碎裂现象。 我们则选择了另一种方案:使... 阅读更多
生物传感器制造用红外灯 为何我们如此重视红外灯的安全性 如果您正在制造生物传感器,那么您肯定知道,温度控制必须精确到极致。容不得任何误差。 红外灯中的微小电压泄漏或绝缘层破损,不仅仅是小问题而已。它可能会毁掉整批敏感的传感器,甚至可能导致整个制造设备出现故障。这绝对是没人愿意在周二下午面临的噩梦。 正因如此,我们不会采取... 阅读更多
带金制反射器的红外线灯泡 在智能工厂中实现精准控温 当试图将加热系统整合到现代高科技工厂中时,人们很快就会意识到,仅仅“增加热量”是不够的。这些热量必须被精确地输送到所需的位置,同时还要确保不会干扰工厂内的数据系统。 因此,我们采用红外线灯泡与金色反射器相结合的方式。这样做的目的是让尽可能多的光子照射到工件上。 为什么选择... 阅读更多