停止在空气加热上浪费能源：更有效的晶圆干燥方式
半导体制造厂面临着实现碳中和的压力。但就晶圆干燥这一环节而言，其能源效率往往很低下。许多工厂仍在使用传统的对流式烤箱。这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热——其实你只需要加热晶圆本身即可，却还要浪费大量能量来加热炉子壁面。 红外技术的原理 我们采用了短波红外灯，因为这种灯不会干扰空气流动。光子直接照射到晶圆表面，立刻转化为热量。这样一来，晶圆就能在几秒钟内达到所需的温度，而非几分钟。 数据与其中的重要性 在對工廠进行审计时，我们会关注一个指标：每块晶圆所消耗的电能。通过使用聚焦型红外灯，我们可以消除那些不必要的“热损耗”。这样一来，就不必再为厚重的钢墙带来的热量问题而烦恼了。此外，我们还会利用脉宽调制技术来精确控制能量输出，这就相当于有了调光功能，而不是简单的开关控制。这样就能避免温度过高，从而防止晶圆变形。最棒的是，能耗通常可以降低20%到30%。 注意点：不能简单地直接替换 不过，红外灯虽然效率很高，但它们需要特定的安装环境。不能直接把它们插入旧式的设备中就能使用。如果冷却系统不够完善，那么从晶圆架反射出来的热量就会破坏整个系统。要么会导致灯泡损坏，要么还会损害晶圆本身。因此，采用红外技术不仅仅是更换灯泡那么简单，还需要整体考虑工厂的能源利用情况，消除那些多年来一直在浪费能源的“无效热量”。