利用镀金石英灯在100级洁净室中实现无污染加热

保持环境清洁：半导体加热的实际情况 如果你曾进入过100级洁净室，就会明白其中的规定有多严格。问题不仅仅在于空气过滤器，真正令人头疼的是那些看不见的微小颗粒和气体——它们会从设备中泄漏出来，从而破坏一切。对于加热元件而言，所谓的“几乎纯净”根本不够用。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英以及金涂层...