停止热量浪费：为什么镀金反射器如此有效
如果你在加热硅片时，能量却四处散失，那显然存在设计上的问题。大多数人会使用普通的铝制反射器，但问题在于：铝的吸热能力太强，结果就是灯具的壳体会被加热，而不是硅片本身。这无疑是一种浪费。 所以，我们才选择使用黄金。 黄金的优势 黄金之所以能成为更好的反射材料，是因为它比铝或抛光钢更能有效地反射红外辐射。当我们在反射器上涂上一层薄薄的黄金后，热量就不会再四处散逸，而是被集中起来。这样，能量就能以集中的方式照射到硅片上，从而不必提高功率就能完成加热任务。 控制能耗 将这种灯具用在硅片加工设备中时，需要小心平衡能量输出。因为需要产生大量的辐射能量，所以这些灯具会变得非常热。你必须确保冷却系统能够及时带走那些无法被硅片吸收的热量。如果空气流通不畅，就可能导致灯具过热，甚至损坏电路连接部件。 保持空气清洁 在洁净室里，臭氧是一种有害物质，必须避免其生成。我们通过调整石英和灯丝的成分，来防止臭氧的产生。这样可以保持处理气体的纯净度，避免氧化现象破坏硅片表面。 权衡利弊（因为没有完美之物） 虽然黄金能带来最佳的能源利用效率，但它质地柔软。因此，请务必不要用磨砂布来擦拭这些灯具，否则会划伤表面，破坏其聚焦效果，进而降低效率。最好采用非接触式的清洁方式，以保持其光泽度和效率。 最后一点：对齐非常重要。如果灯具有哪怕一点点倾斜，其发热点也会发生变化，从而导致硅片受热不均，一切又得从零开始。