خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون مشکلات خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری دشوار است؛ زیرا باید آب به سرعت از روی آنها حذف شود. اما اگر این کار با شدت زیاد انجام شود، ساختارهای ظریف موجود در ویفرها خراب خواهند شد. اکثر افراد از حرارت ناشی از جریان هوا برای خشک کردن ویفرها استفاده میکنند؛ اما این روش کارایی لازم را ندارد. در واقع، با این روش فقط هوا و دیوارههای محیطی گرم میشوند، در حالی که ویفر خشک نمیشود. ما روش متفاوتی استفاده میکنیم؛ از لامپهای مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم. به جای گرم کردن تمام فضای اطراف، انرژی را مستقیماً روی ویفر هدایت میکنیم. چرا باید از حرارت جهتدار استفاده کرد؟ فکر کنید به یک گرمکن معمولی؛ این دستگاه حرارت را در تمام جهات پخش میکند؛ یعنی ۳۶۰ درجه از انرژی هدر میرود. در دستگاههای نیمههادی، این امر باعث میشود دیوارههای داخلی دستگاه بسیار گرم شوند. این کار هم اتلاف انرژی است و هم خطرات ایمنی برای کسی که دستگاه را کنترل میکند، ایجاد میکند. ما از لامپهای مادون قرمز با پشتیبانی بازتابنده استفاده میکنیم؛ این روش مانند استفاده از چراغ قوه به جای لامپ برق است. تمام انرژی روی ویفر تأثیر میگذارد، در حالی که دیوارههای دستگاه سرد باقی میمانند. این روش روشی بسیار بهتر برای خشک کردن ویفرها است. مشکلات موجود برای خشک کردن سریع ویفرها، معمولاً از لامپهای هالوژنی با توان بالا استفاده میشود؛ این لامپها میتوانند دمای ویفر را به سرعت افزایش دهند. اما مشکل اینجاست که منبع تغذیه باید بتواند این جریان بالای الکتریکی را تحمل کند. همچنین، نمیتوان توان لامپ را به حداکثر برسانیم تا چند ثانیه صرفهجویی کنیم؛ زیرا این کار باعث شوک حرارتی خواهد شد. راز واقعی، فاصله بین لامپ و ویفر است؛ اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، نقاط گرمی ایجاد میشود که میتواند ساختارهای ظریف سنسورها را خراب کند. مهم این است که فاصله مناسبی بین لامپ و ویفر وجود داشته باشد. کاربرد این روش در دنیای واقعی از آنجایی که حرارت در این روش بسیار متمرکز است، نیازی به استفاده از لایههای عایق ضخیم و سنگین در بیرون از دستگاه نیست. این کار باعث میشود کل سیستم کوچکتر و قابل کنترلتر شود. علاوه بر این، میتوان از کنترلکننده PID برای جلوگیری از فراتر رفتن از دمای مورد نظر استفاده کرد. یک نکته مهم: لامپهای مادون قرمز کوتاهموج، مانند لامپهای بلندموج رفتار نمیکنند؛ انرژی آنها به شکل متفاوتی در مواد جذب میشود. بنابراین باید مطمئن شوید که ویفر شما چگونه حرارت را جذب میکند، تا بتوانید زمان لازم برای خشک کردن ویفر را به درستی تعیین کنید.