دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را در معرض گرما قرار دهید؛ روش بهتری برای کنترل گرما وجود دارد. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، انرژی را در همه جهات پخش میکنند؛ یعنی گرما در ۳۶۰ درجه پخش میشود. وقتی که در یک محفظه نیمههادی کار میکنید، این موضوع مشکلساز میشود؛ زیرا تمام انرژی اضافی به دیوارههای داخلی تجهیزات برخورد کرده و باعث میشود تجهیزات گرانقیمت شما به یک فر بزرگ تبدیل شوند. این موضوع صرفاً هدر رفتن انرژی نیست؛ دیوارههای گرم میتوانند باعث تغییر شکل قطعات تجهیزات شوند. صادقانه بگوییم، هیچ کس دوست ندارد در حین بررسیهای روتین، دچار سوختگی شود. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم. نحوه کارکرد آن: به جای اینکه انرژی به طور تصادفی پخش شود، از منعکسکنندههای خاص و لامپهایی با طول موج مناسب استفاده میکنیم تا انرژی را دقیقاً به جایی که لازم است، ارسال کنیم. میتوانید آن را مانند تغییر از یک لامپ که کل اتاق را روشن میکند، به یک چراغ قوه که تنها یک نقطه خاص را روشن میکند، در نظر بگیرید. گرما مستقیماً به ویفر یا سطح مورد نظر میرسد؛ دیوارههای محفظه نیز سرد باقی میمانند، زیرا انرژی لازم را جذب نمیکنند. تجهیزات خنکتر، تکنسینهای خوشحالتر: وقتی از این روش استفاده کنید، متوجه خواهید شد که دمای داخل ماشین کاهش پیدا کرده است. این موضوع بسیار مفید است؛ دیگر نیازی نیست به فنهای خنککننده بزرگ و پرسروصدا تکیه کنید، یا هزینه زیادی برای ساخت سپرهای حرارتی صرف کنید. حجم انرژی مورد نیاز برای گرم کردن تجهیزات کاهش مییابد؛ این امر باعث ایمنتر شدن کار برای تکنسینها میشود. دیگر نیازی نیست پنلهای داخلی تجهیزات را برای رساندن آنها به دمای مورد نظر، سوزانید. معایب: البته، این روش راهحل جادویی برای همه مشکلات نیست. چون انرژی را در یک نقطه مشخص متمرکز میکنیم، چگالی گرما در آن نقطه بسیار بالا میشود. اگر کنترلکننده PID به درستی تنظیم نشده باشد، ممکن است دمای تجهیزات بیشتر از حد مورد نظر شود و باعث آسیب به مواد تجهیزات شود. برای حفظ استабیلی، به ترموکوپلهایی با واکنش سریع نیاز دارید؛ نمیتوانید اجازه دهید در حلقه بازخورد، تأخیری ایجاد شود، زیرا گرما در این حالت بسیار زیاد است. از کجا شروع کنیم؟ ابتدا به تجهیزات فعلی خود نگاه کنید؛ اگر دیوارههای محفظه بسیار گرم باشند، اما قطعات مورد نظر هنوز نتوانند به دمای مورد نظر برسند، یعنی انرژی به طور تصادفی پخش میشود. این موضوع هم هدر رفتن انرژی است و هم خطری برای تجهیزات شما. استفاده از روش متمرکز کردن انرژی، راهحل منطقیتری است.