
دریافت گرما را متوقف کنید: چرا بازتابندههای پوشیده شده با طلا واقعاً مؤثر هستند اگر در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید و انرژی مورد نیاز برای این کار به همه جا ریخته میشود، پس مشکلی در طراحی دستگاه شما وجود دارد. اکثر افراد از بازتابندههای استاندارد آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم مقدار زیادی انرژی را جذب میکند؛ در نتیجه، دستگاه گرم میشود، نه ویفر. این کار، هدر دادن انرژی است. به همین دلیل از طلا استفاده میکنیم. تفاوت طلا مسئله مربوط به زیبایی طلا نیست؛ بلکه طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز عملکرد بسیار بهتری نسبت به آلومینیوم یا فولاد صیقلی دارد. وقتی لایه دقیقی از طلا روی بازتابنده قرار میگیرد، گرما به جای پراکندگی، در یک نقطه متمرکز میشود. در نتیجه، پرتو انرژی متمرکزی به ویفر اعمال میشود؛ بنابراین نیازی به افزایش توان لامپ برای انجام کار نیست. مدیریت مصرف انرژی نصب این لامپها در دستگاههای تولید ویفر، نیازمند تعادل خاصی است. چون انرژی زیادی مورد نیاز است، لامپها بسیار گرم میشوند. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه، قادر به مقابله با گرمای اضافی باشد. اگر جریان هوا ضعیف باشد، مشکلاتی مانند گرم شدن بیش از حد لامپ یا خراب شدن کانکتورهای الکتریکی پیش خواهد آمد. حفظ تمیزی هوا در اتاقهای پاک، ازن دشمن اصلی است؛ این ماده، آلایندهای است که نباید وجود داشته باشد. ما شیمی کوارتز و فیلامنت را تغییر دادهایم تا از تشکیل ازن جلوگیری شود. این کار، گازهای مورد استفاده در فرآیند تولید را تمیز نگه میدارد و از اکسیداسیون ناخواسته که میتواند سطح ویفر را خراب کند، جلوگیری میکند. معایب (چون هیچ چیز کامل نیست) طلا بهترین بازدهی انرژی را فراهم میکند، اما نرم است. لطفاً، برای حفظ کارایی دستگاه، از پدهای ساینده برای تمیز کردن طلا استفاده نکنید؛ زیرا این کار باعث خراشیدگی سطح طلا، از بین رفتن نقطه تمرکز گرما و کاهش کارایی دستگاه میشود. برای حفظ براقی و کارایی طلا، از روشهای تمیزکاری بدون تماس استفاده کنید. و در نهایت: تنظیم صحیح موقعیت لامپ بسیار مهم است. اگر لامپ حتی کمی کج شود، نقطه گرمایش تغییر خواهد کرد؛ در نتیجه، گرمایش ویفر ناهموار خواهد شد و شما دوباره به نقطه شروع برمیگردید.