دیگر اجازه ندهید که عناصر گرمایشی، باعث از بین رفتن محصولات تولید شده شوند!
اگر از اتاقهای پاکسازی درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً از مشکلات ناشی از آن آگاه هستید. حتی یک ذره کوچک از مواد موجود در محیط، یا انتشار گازهای فرار، میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است. اکثر عناصر گرمایشی معمولی، برای استفاده در چنین محیطهایی مناسب نیستند؛ زیرا درست در لحظاتی که نیاز به ثبات دما وجود دارد، این عناصر شروع به تخریب میکنند.
ما راه بهتری پیدا کردهایم؛ ما از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ لامپهایی که به طور ویژه برای کارهای مربوط به نیمههادیها طراحی شدهاند.
مشکلات مربوط به کوارتز «معمولی»
اکثر لامپهای IR از کوارتز ساده استفاده میکنند؛ اما این کوارتزها معمولاً حاوی مواد ناخالصی هستند که در چند ساعت اول استفاده، از بین میروند. در یک آزمایشگاه، این موضوع میتواند فاجعهبار باشد.
ما تمام این مواد ناخالص را از بین بردهایم؛ با استفاده از سیلیکا با خلوص تقریباً صفر، ریسک آلودگی فلزی نیز از بین رفته است. دیگر نیازی نیست نگران تخریب مواد در اثر تغییرات دما باشید؛ همچنین نیازی به نگرانی درباره ذرات میکروسکوپی نیز نیست. این لامپها واقعاً تمیز هستند.
گرمایش در جایی که واقعاً نیاز به آن وجود دارد
این لامپها، انرژی خود را مستقیماً به سطح ویفر انتقال میدهند؛ بنابراین انرژی صرف گرم کردن هوای اطراف یا بدنه ابزارها نمیشود.
این روش بسیار سریع است.
از آنجایی که افزایش دما بسیار سریع اتفاق میافتد و کنترل دما نیز دقیق است، میتوانید طراحی ابزارهای خود را ساده نگه دارید، بدون اینکه کارایی آنها کاهش یابد.
معایب (چون همیشه معایبی وجود دارد)
کوارتز با خلوص بالا میتواند دماهای بسیار بالایی را تحمل کند؛ اما چنین دمای بالایی، فشار زیادی بر سیستمهای خنککننده و اتصالات الکتریکی وارد میکند.
اگر بخواهید با افزایش توان لامپ، بهرهوری بیشتری داشته باشید، باید مطمئن شوید که سیستمهای خنککننده قادر به مقابله با گرمای تولید شده هستند. در غیر این صورت، ممکن است بدنه ابزارها دچار تغییر شکل شود یا سیستم کلی از کار بیفتد.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سادهای برای لامپهای فعلی شوند. ما بر خلوص فیلامنت و کوارتز تأکید زیادی کردهایم؛ تا دیگر نیازی نباشد نگران ذرات معلق در هوا باشید، و بتوانید روی بهرهوری تمرکز کنید.