دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده هدر برود؛ چرا از منعکسکنندههای طلایی استفاده میکنیم؟
بیایید صادق باشیم: چیزی ناامیدکنندهتر از پرداخت هزینه برقی که در واقع در دیوارههای محفظه از بین میرود، وجود ندارد. هنگام فرآوری ویفرها، هر وات انرژی که به سطح ویفر نمیرسد، در واقع پولی است که بیهوده از بین میرود.
به همین دلیل از منعکسکنندههای طلایی استفاده میکنیم. شاید این روش پیچیده به نظر برسد، اما منطق آن بسیار ساده است؛ ما میخواهیم که تمام گرمای تولید شده دقیقاً در جای خودش، یعنی روی سطح ویفر، قرار بگیرد.
چرا طلا؟
اکثر مردم از آلومینیوم برای ساخت منعکسکنندهها استفاده میکنند، اما آلومینیوم در جذب انرژی مادون قرمز عملکرد خوبی ندارد؛ یعنی انرژی زیادی را جذب میکند. اما طلا متفاوت است؛ طلا یکی از بهترین مواد برای بازتاب انرژی مادون قرمز است.
با قرار دادن لایه نازکی از طلا روی سطح منعکسکننده، میتوانیم از نشت گرما جلوگیری کنیم؛ در نتیجه، گرمای تولید شده به طور کامل روی سطح ویفر تمرکز میشود، بدون اینکه نیاز به استفاده از مقدار زیادی انرژی باشد.
تعادل بین گرما و فشار
مشکل اینجاست که وقتی انرژی را به این شکل تمرکز میکنیم، سطح مربوطه بسیار گرم میشود. خبر خوب این است که ویفرها سریعتر به دمای مورد نظر میرسند؛ اما باید مراقب سیستم خنککننده نیز باشیم. اگر سیستم خنککننده قادر به خنک کردن سطوح مربوطه نباشد، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد.
نگهداری از سطوح منعکسکننده
ما این منعکسکنندهها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی قابل تعویض باشند؛ اما پس از نصب، باید به آنها با احتیاط رفتار کرد. سطوح طلایی بسیار حساس هستند؛ حتی یک اثر انگشت یا لکه کوچک روغن میتواند باعث ایجاد نقاط سرد روی سطح ویفر شود؛ این امر باعث از بین رفتن یکنواختی گرمای تولید شده و اختلال در فرآیند فرآوری میشود.
نکته مهم: همیشه از دستکشهای بدون الیاف برای تمیز کردن آنها استفاده کنید؛ اگر نیاز به تمیز کردن آنها داشتید، از الکل ایزوپروپیلیک استفاده کنید.
شاید این کار کمی پیچیده به نظر برسد، اما اهمیت زیادی دارد؛ ما دیدهایم که سیستمها به دلیل کثیفی منعکسکنندهها، ۱۵ درصد از توان تولید گرمای خود را از دست میدهند. اگر سطوح منعکسکنندهها تمیز بمانند، سیستم به خوبی کار خود را انجام خواهد داد.