
دیگر انرژی را برای گرم کردن هوا هدر ندهید: روش بهتری برای خشک کردن ویفرها کارخانههای تولید نیمههادی در تلاشند تا کربنخنثی شوند. اما اگر به مرحله خشک کردن نگاه کنیم، متوجه میشویم که این فرآیند از لحاظ کارایی انرژی، بسیار ضعیف است. هنوز هم تعداد زیادی از خطوط تولید از فرهای قدیمی برای خشک کردن ویفرها استفاده میکنند. این کار در واقع مانند گرم کردن کل یک اتاق صرفاً برای گرم کردن یک فنجان قهوه است؛ یعنی انرژی زیادی برای گرم کردن دیوارههای اتاق صرف میشود، در حالی که تنها چیزی که اهمیت دارد، خود ویفر است. نحوه عملکرد موجهای مادون قرمز ما از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج برای این کار استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها باعث ایجاد گرمای اضافی در هوا نمیشوند. به جای انتظار برای گرم شدن فضای اطراف، فوتونها مستقیماً به سطح ویفر برخورد کرده و بلافاصله به گرما تبدیل میشوند. این روش بسیار سریع است؛ در عرض چند ثانیه، دمای مورد نظر برای خشک کردن ویفرها حاصل میشود. آمارها و اهمیت آنها وقتی که برای بازرسی به کارخانهها میرویم، تنها یک چیز را بررسی میکنیم: میزان انرژی مصرفی برای خشک کردن هر ویفر. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانیم از این مشکلات جلوگیری کنیم. دیگر نیازی نیست با دیوارهای فولادی سنگین مبارزه کنیم. علاوه بر این، از روش PWM برای کنترل میزان انرژی مصرفی استفاده میکنیم؛ این روش مانند یک کنترلکننده تندی نور است، نه یک کنترلکننده ساده خاموش/روشن. به این ترتیب، دیگر نیازی نیست نگران افزایش بیش از حد دما باشیم؛ یعنی دیگر نیازی نیست نگران خراب شدن ویفرها باشیم. بهترین بخش این است که میزان انرژی مصرفی معمولاً ۲۰ تا ۳۰ درصد کاهش مییابد. مشکلات: نمیتوانید فقط لامپها را جایگزین کنید مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز در فضای کوچک، تأثیر زیادی دارند؛ بنابراین نمیتوانید آنها را به سادگی در چارچوبهای قدیمی قرار دهید. اگر سیستم خنککننده کارخانه مناسب نباشد، گرمای ناشی از لامپها میتواند تجهیزات کارخانه را خراب کند. شما یا لامپها را خراب خواهید کرد، یا در بدترین حالت، سطح ویفرها آسیب خواهد دید. تغییر به استفاده از لامپهای مادون قرمز، فقط مربوط به جایگزینی لامپهای قدیمی نیست؛ بلکه مربوط به بررسی کل سیستم انرژی کارخانه و حذف گرمای اضافی است که سالهاست منابع مالی کارخانه را هدر میدهد.