حفظ تمیزی: واقعیت گرمایش در نیمههادیها
اگر تا به حال در اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ بودهاید، میدانید که اوضاع چگونه است. موضوع فقط مربوط به فیلترهای هوا نیست؛ واقعیت این است که ذرات و گازهای کوچکی وجود دارند که از تجهیزات شما خارج میشوند و همه چیز را خراب میکنند. در مورد عناصر گرمایشی، «تقریباً تمیز» کافی نیست. به همین دلیل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا و لایههای طلا برای این منظور استفاده میکنیم. این تنها راه برای رسیدن به سطح صفر آلودگی است.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
فکر کنید به یک لامپ مادون قرمز استاندارد؛ این لامپ گرما را در همه جا پخش میکند. اما در سیستمهای نیمههادی، گرم کردن بدنه دستگاه، هدر رفتن انرژی و مشکلات زیادی را به همراه دارد. برای حل این مشکل، یک لایه نازک از طلا روی پشت لوله کوارتز قرار میدهیم؛ این لایه مانند یک آینه عمل کرده و تمام انرژی مادون قرمز را به سمت ویفرها هدایت میکند. شاید بپرسید چرا از آلومینیوم استفاده نمیکنیم؛ دلیل ساده است: آلومینیوم اکسید میشود؛ وقتی این اتفاق میافتد، ذرات کوچکی ایجاد میشود؛ این ذرات میتوانند برای ویفرهای سیلیکونی مشکلساز شوند. طلا چنین مشکلی ندارد؛ حتی در دماهای بسیار بالا نیز پایدار باقی میماند.
اهمیت مواد استفاده شده
از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا نمیخواهیم یونهایی وارد مخلوط شوند. شیشههای ارزان، دارای ناخالصیهایی هستند که با گرم شدن، وارد محیط دستگاه میشوند. ما لولهها را به طور کامل تمیز میکنیم تا هیچ چیزی روی سطح آنها باقی نماند. در داخل، رشتههای گرمایشی در فضایی خلأ یا پر از هالوژن قرار دارند؛ این کار باعث میشود کوارتز با گذشت زمان تیره نشود. این امر باعث میشود گرمای تولید شده در سراسر لامپ یکنواخت باقی بماند.
چند نکته مهم
این لامپها بسیار قدرتمند هستند؛ زیرا لایه طلا، انرژی زیادی را به سمت سطح مورد نظر هدایت میکند. بنابراین، باید مراقب کنترلرهای PID و سیستمهای خنککننده باشید؛ اگر سیستم خنککننده نتواند گرما را از انتهای لامپ دور کند، ممکن است اتصالات دستگاه خراب شوند. ما این لامپها را به عنوان جایگزینی برای ابزارهای فعلی شما طراحی کردهایم؛ لطفاً مطمئن شوید که منبع تغذیه شما قادر به تأمین ولتاژ مورد نیاز برای این چرخههای گرمایشی سریع باشد.