در کارخانههای تولید نیمههادی، زمانی که یک لامپ خراب میشود، سیستم برنامهریزی کار را متوقف نمیکند. مراحل حرارتی مانند پخت نرم، پخت سخت و پخت پس از قرارگیری در معرض نور، در چارچوب دمایی مشخصی انجام میشوند. اگر منبع گرما دچار اختلال شود یا از کار بیفتد، کل فرآیند تولید مختل خواهد شد؛ زیرا پروفایل فوتورزیست تغییر کرده، ابعاد مهم محصولات دچار نوسان میشوند و در نهایت محصولات بیکیفیت خواهند بود.
نکات فنی مهم:
ما لامپ حرارتی مورد استفاده در فرآیندهای حرارتی نیمههادی را بر اساس یک ساطعکننده مادونقرمز با طول موج کوتاه، در یک پوشش کوارتزی ساختیم. این روش، گزینه مناسبی برای دستیابی به پاسخ سریع و خروجی طیفی پایدار در هر چرخه حرارتی است. هدف، دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این امر با استفاده از مجموعهای از لامپهای تنظیمشده و سیستم کنترل دمایی بسته، محقق میشود.
این لامپ برای کار در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین مواد و قطعات مورد استفاده، به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات کمتری رخ دهد. ساطعکننده لامپ، برای عمر طولانی طراحی شده؛ بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار مستمر، با کاهش کمتر از ۵٪ در خروجی لامپ. کل ساختار لامپ، به گونهای طراحی شده که تکرارپذیری فرآیند در هر بار کار حفظ شود.
دلایل موفقیت این لامپ:
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، دمای پخت، نقش مهمی در حذف حلالها، تغییرات فاز شیشهای و انتخابپذیری فرآیند حکاکی دارد. این لامپ، دمای مورد نیاز برای پخت نرم و سخت را فراهم میکند؛ بدون وجود نقاط گرم یا سردی در لبهها. این امر منجر به کاهش تعداد کارهای تکراری، کاهش تغییرات در فرآیند، و افزایش بازدهی تولید میشود.
در خطوط تولید با حجم بالا که هرگز متوقف نمیشوند، انتظار این است که هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ ندهد. ما لامپ را به گونهای طراحی کردهایم که این شرایط برقرار شود؛ بنابراین برنامههای تولید، بدون تأخیر اجرا میشوند. مصرف انرژی نیز با استفاده از سیستم کنترل دمایی، کاهش مییابد؛ بدون اینکه پایداری حرارتی تحت تأثیر قرار بگیرد.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
نصب لامپ، مستلزم تطابق مجموعه لامپها با ساختار محفظه، و همچنین تطابق منبع تغذیه و رابطهای اتصال با مشخصات لامپ است. لامپ دارای دمای بالایی است؛ بنابراین قبل از استفاده، باید موارد مربوط به محافظت، سیستمهای ایمنی و سیستمهای خنککننده را بررسی کرد.
برای تنظیم اولیه لامپ، باید کار تنظیمات اولیه را برای هر فرآیند انجام داد تا منحنی یکنواختی دما مشخص شود. پس از آن، سیستم میتواند به صورت تکرارپذیر عمل کند، بدون نیاز به تنظیمات مجدد.