半导体洁净室推车式加热器

如何充分利用传送带式加热器 如果你曾在半导体洁净室工作过，那就知道其中的不便之处了。你需要为传送带上的晶圆提供热量，但要让热量精确地传递到需要加热的位置其实相当困难。 通常情况下，热量会四处散失。它不会直接作用于晶圆，而是让周围的部件或空气变热。这不仅浪费了能量，还会给设备带来麻烦。 秘诀就在于黄...