受控气氛烘烤灯

在晶圆厂车间，软烘和硬烘不仅仅是“加热步骤”。它们是一场走钢丝。温度漂移2°C 就会导致关键尺寸（CD）偏离目标，如果烘烤过程中产生颗粒，良率会直接下降。我们设计的受控气氛烘烤灯具就是为防止这两种失效模式而生。 实际关键点 我们采用短波红外（SWIR）加热，使用石英卤素灯管，工艺室密封并通入氮气以...