利用镀金红外反射器最大化晶圆加工过程中的辐射能量传递
别再浪费热量了:为什么镀金反射器如此重要 说实话,如果在晶圆加工过程中浪费能源,那显然是一种糟糕的设计。当使用高功率红外灯时,大量热量会向错误的方向散失,而非作用于晶圆表面。 这就好比试图用加热器来加热房间,但加热器却指向了墙壁。这时,镀金反射器就派上用场了。
为何选择黄金? 你可能会问,为什么不...
红外发射器的陶瓷端盖
为什么红外发射器需要更好的端盖
如果你曾在半导体制造厂工作过,就会知道,精确的加热控制是确保设备正常运转的关键。我们依赖红外发射器来保持晶圆的温度稳定,但一直存在一个难题:那就是发热元件与电气引线相接的部位。通常,系统故障就发生在这一处。
因此,我们才会使用陶瓷端盖。可以把它们看作是一种“隔热屏障...