破損したランプがウェーハを破壊するのを防ごう
高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが故障すると大変な問題になります。単に機械がしばらく停止するだけではありません。もしクォーツ管が破裂したら、ガラスの破片やハロゲン物質が直接ウェーハに降りかかります。そうなると、そのウェーハはすぐに廃棄されてしまいます。高価なウェーハが一瞬で台無しになってしまうのです。
私たちは、ランプの構造自体に物理的な遮壁や高反射率のケースを取り付けることで、このような問題を防止する方法を考え出しました。
反射器がどのように役立つか
私たちは、金コーティングされた素材や高純度のアルミニウムを使用して、赤外線エネルギーを正確にウェーハの表面に向けて反射させます。
しかし、本当に素晴らしい点は、効率性だけではないということです。熱を効果的に集中させることができるため、より低いワット数で同じ硬化温度を得ることができます。クォーツ管にかかる熱ストレスも少なくなり、その結果、ランプが破裂する可能性も大幅に低下します。
汚れを封じ込める
反射器はまるで安全装置のようなものです。ランプは精密に加工されたケースの中に収められており、それが破片を受け止めてくれます。もしランプが故障しても、ケースが破片を吸収してくれるので、製品に破片が届くことはありません。
また、絶え間ない膨張や収縮に耐えられるように、高品質のクォーツを使用しています。もう一つのポイントは、電源の安定性です。多くの場合、早期の故障は電圧の急変が原因です。ですから、電源を安定させておくことが重要です。
トレードオフ
完璧なものはありません。遮壁や反射器を追加すると、加熱装置が少し大きくなります。また、熱容量も増えるため、スイッチを入れてから温度が上がるまでに時間がかかります。そのため、温度上昇のタイミングを調整する必要があります。
私たちは、汚染が許されない24時間稼働のライン用にこれらを開発しました。もし古い装置にこれらを取り付ける場合は、十分に隙間を確認してください。隙間が狭すぎると、空気の流れが悪くなり、ランプの端が過熱してしまいます。これはまさに私たちが避けたいことです。