ヒーター要素が製品の品質を損なうのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業している場合、その恐怖をご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。本当に厄介です。一般的なヒーター要素は、安定して動作する必要がある時に、むしろ破損したり、揮発性有機化合物を放出したりしてしまいます。
私たちは、より良い方法を見つけ出しました。半導体製造用に特別に設計された、高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
「一般の」石英の問題点
ほとんどのIRランプは、普通の石英を使用しています。しかし、そうした石英には接着剤や不純物が含まれており、使用開始後数時間以内にそれらが燃焼してしまいます。研究室では、この「バーンイン」期間は大きな問題となります。
私たちは、そうした不要なものをすべて取り除きました。ほぼ不純物のない融合シリカを使用することで、金属汚染のリスクを排除しました。最初の段階での不具合もなく、温度が変動する際に微粒子が飛び散る心配もありません。本当にクリーンです。
必要な場所に熱を届ける
これらのランプは短波長のIR光を放ちます。これが重要な理由です。エネルギーが直接ウェーハの表面に届くからです。周囲の空気やツールの本体を温める時間が節約されます。
非常に速いです。本当に速いのです。
急速な温度上昇と精密な温度制御のおかげで、高出力を維持しながらも、ツールの設計をコンパクトに保つことができます。
注意点（必ず存在します）
高純度の石英は極端な高温にも耐えられますが、そのような高密度の熱は、真空密封部品や電気接続部品に大きな負担をかけます。
より多くの効率を得るために出力を上げる場合、冷却システムがその熱に対応できるかどうかを確認する必要があります。そうでなければ、装置が壊れたり、システムが自動的に停止したりします。
私たちは、既存の装置に簡単に取り付けられるように設計しました。フィラメントの材質やガラスの純度にもこだわり、空気中の微粒子の心配をせずに、製品の品質に集中できるようにしました。