MEMS乾燥工程におけるランプの破損について話しましょう。
もし、高負荷のMEMS製造ラインを運用しているなら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。
問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンの残渣がセンサーワーフ上に降り注ぎます。一度破裂すると、そのロット全体が無駄になってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。
では、なぜこんなことが起こるのでしょうか？
通常、熱衝撃や過度な熱ストレスが原因です。高負荷の条件下では、フィラメントとチューブの端との間の温度差が大きくなり、多大な機械的ストレスが発生します。
これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。これにより、急激な温度変動にも耐えられます。また、壁厚やガス圧も調整し、通常の運転条件で発生する以上の破壊力を防いでいます。
安全対策も講じています
私たちは、このようなリスクをそのまま放置しません。
当社のランプには、保護シェルや故障時に破片が製品に付着しないような安全装置が備わっています。もしチューブが破裂しても、ハウジングが破片を閉じ込めてくれます。
さらに、振動に強い接続部品も使用しています。振動がある環境では、端子からの放電が爆発の原因になり得ます。ですから、接続部分をしっかり固定しています。
理解しておくべきトレードオフ
高ワット数の短波ランプは、MEMS乾燥工程において迅速な加熱が可能な点で優れていますが、同時に非常に高温になります。
ですから、適切な冷却装置が必要です。冷却能力が不十分だと、シール部分が劣化し、漏れや故障のリスクが高まります。
私たちは、24時間365日稼働する工場向けにこれらのランプを開発しています。石英の限界や回路の安定性にも細心の注意を払っているので、安心して製造を続けることができます。