ゴールドコーティング石英ランプを用いたクラス100クリーンルームにおけるゼロ汚染加熱の実現

清潔を維持する：半導体加熱の現実 クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳格さが分かるでしょう。重要なのは空気フィルターだけではありません。本当の問題は、目に見えない微小な粒子やガスです。これらが装置から漏れ出し、すべてを台無しにしてしまうのです。加熱要素に関して言えば、「ほ...