熱を無駄にしないために：なぜ金製の反射器を使うのか
正直に言って、電力代を払ってもそのエネルギーがチャンバーの壁に消えてしまうのは、本当に腹立たしいことです。ウェーハを加工する際、基板に届かない1ワット毎が、実質的に無駄になってしまいます。
だからこそ、私たちは金でコーティングされた反射器を使用しているのです。聞こえは高級そうですが、その原理はごく単純です。要素から出る熱を、正確にウェーハに伝えるのです。
なぜ金なのか？
多くの人々はアルミニウムを使いますが、アルミニウムは赤外線エネルギーを吸収しやすい性質があります。一方、金は違います。赤外線を反射するのに最適な材料の一つです。
ハウジングに薄い金の層を施すことで、熱の漏れを防ぎます。そうすることで、ウェーハにより集中した熱が与えられます。そして、電力供給を強化する必要もありません。
デメリット：熱と圧力
しかし、エネルギーをこれほど集中させると、物が急速に高温になります。
良い点は、ウェーハが目標温度に到達するのが早くなることです。しかし、冷却システムに注意が必要です。もし冷却システムが十分でなく、部品の端から熱を取り除けない場合、問題が生じます。ハウジングやシールが壊れてしまう可能性もあります。
清潔に保つこと
これらの反射器は簡単に交換できるように設計されています。しかし、一度装着したら、丁寧に扱う必要があります。
金の表面は非常に繊細です。指紋や油の汚れがあるだけで、ウェーハに「冷たい部分」ができてしまいます。それにより、均一性が損なわれ、全体の品質が低下します。
**プロのアドバイス：**必ず繊維のない手袋を使ってください。また、清掃する際はイソプロピルアルコールを使用してください。
細かいことのように思えますが、とても重要です。反射器が少し汚れただけで、システムの熱出力が15％も低下するケースもあります。常に清潔に保てば、システムがしっかりと機能します。