Auf der Produktionsfläche ist eine Wafer, die aus dem Reinigungsprozess kommt, niemals einfach nur „feucht“. Das ist ein Problem – übrig gebliebene Feuchtigkeit kann später zu Mikrobridgen und anderen Defekten führen – gerade dann, wenn man versucht, die Geometrie des Photoresists beizubehalten.
Herkömmliche Trocknungsmethoden können dazu führen, dass es thermische Gradienten auf der Waferoberfläche gibt. Solche Gradienten bleiben nicht nur theoretisch bestehen – sie führen zu Schwankungen in der Dicke der Schichten auf der Waferoberfläche. Wir haben daher Infrarotheizer entwickelt, um diese Schwankungen auszugleichen.
Was technisch wirklich wichtig ist:
Unsere Kurzwellen-Infrarotstrahler sorgen für eine homogene Temperaturverteilung über die gesamte Waferoberfläche – mit einer Genauigkeit von unter einem Millimeter. Zudem halten wir die Temperatur während der Soft-Baking- und Hard-Baking-Prozesse bei ±0,1°C konstant.
Die Quarz-Halogen-Quelle leitet Energie schnell und direkt weiter – dadurch wird die Reaktionszeit im Millisekundenbereich gemessen, nicht in Minuten. Die Wiederholgenauigkeit ist nicht etwas, das erst später berücksichtigt wird – sie ist bereits in den Steuerkreis integriert.
Jede Zone verfügt über eine geschlossene Pyrometrie-Steuerung, automatische PID-Einstellungen sowie Kalibrierungskurven, die an NIST-Standards ausgerichtet sind. Das Ergebnis: Ein Prozess, dem man lot für Lot vertrauen kann.
Warum das zu unserem Arbeitsablauf passt:
In den Lithografieanlagen sowie bei den Beschichtungs- und Trocknungsprozessen passt der Heizer perfekt in Umgebungen der Klasse 1–100. Dadurch entstehen keine Partikel, was die Anzahl der Defekte verringert und somit die Ausbeute erhöht.
Der Energieverbrauch sinkt, da nur das Target erwärmt wird – nicht der ganze Raum. Zudem verkürzt die schnelle Erwärmung die Prozesszeit, ohne den thermischen Aufwand zu erhöhen.
Die Profile des Photoresists bleiben konstant – egal ob es sich um die erste oder die tausendste Wafer handelt. Dadurch muss man weniger Zeit mit Nacharbeiten und Aussortieren verbringen.
Praktische Aspekte:
Es ist erforderlich, eine präzise Ausrichtung bezüglich der Waferposition zu gewährleisten. Außerdem muss das Leistungsprofil sauber sein. Spannungsabfälle sowie elektromagnetische Störungen können die Leistung des Steuerkreises beeinträchtigen. Deshalb verwenden wir spezielle, gefilterte Stromquellen, damit die Leistung konstant bleibt.
Sobald alles korrekt ausgerichtet ist, kann der Heizer 24/7 ohne größeren Wartungsaufwand betrieben werden. Doch die Lebensdauer der Strahler ist begrenzt – daher sollten die Austauschintervalle bei etwa 5.000 Stunden liegen, damit die Homogenität weiterhin gewährleistet bleibt.