In der Fertigungshalle reicht eine Temperaturschwankung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks aus, um die Breite der Linien um mehrere Nanometer zu verändern – und dadurch viele Produkte unbrauchbar zu machen. Temperaturstabilität ist also keine Frage des Wunsches, sondern eine Notwendigkeit für den Prozess selbst. Wir haben unsere Heizgeräte so konstruiert, dass auf Substraten mit einer Größe von 150 mm und 200 mm eine Temperaturhomogenität von ±0,1 °C erreicht wird.
Was wirklich wichtig ist
Wir kombinieren Kurzwellenhalogen- und NIR-Emittoren mit Quarzreflektoren, damit die Energie genau dort eingesetzt werden kann, wo sie benötigt wird. Dadurch bleibt die thermische Masse gering und die Reaktionszeit kurz. Die Temperaturgenauigkeit liegt bei ±0,5 °C bei Einstellwerten zwischen 90 °C und 250 °C. Dadurch können sowohl sanfte als auch strenge Trocknungsprozesse ohne Überschreitung der Grenzwerte durchgeführt werden. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 wird durch ultraniedrige Ausgasungsgrade, versiegelte Verbindungen sowie keine Partikelbildung während der thermischen Prozesse gewährleistet. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wobei die Intensitätsabweichungen unter 5 % liegen.
Das ist in der Lithografie und im Verarbeitungsprozess des Fotolacks besonders wichtig: Der thermische Rahmen ist sehr streng. Unsere Heizgeräte sorgen dafür, dass die Qualität des Prozesses von Charge zu Charge stabil bleibt. Dadurch werden Schwankungen in der Linienbreite vermieden und der Bedarf an Nacharbeiten reduziert. Eine schnelle Anheizung verkürzt die Prozesszeit, und die Präzision sorgt dafür, dass Energie eingespart wird, indem Überkompensation vermieden wird. Die Zuverlässigkeit zeigt sich in weniger unplanmäßigen Interventionen sowie in konstanter Partikelzahl auf den Wafern.
Ein paar praktische Hinweise
Diese Heizgeräte benötigen passende Stromversorgungen sowie kalibrierte Pyrometer, um den Prozess effektiv zu steuern. Bei Integration in bestehende Systeme können geringfügige mechanische Anpassungen sowie aktualisierte Einstellwerte erforderlich sein. Planen Sie außerdem eine Montage, die der Norm für Reinräume entspricht. Stellen Sie sicher, dass der thermische Rahmen auch die Alterungskurve der Emittoren berücksichtigt – wir liefern die entsprechenden Daten, damit Sie den Prozess kontrollieren können.